探针台组成

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探针台为小尺寸样品测量电特性、PID自整定连续多点控温、提供高精度可控的测量环境、帮助精准测量和分析判断晶圆器件的性能。

探针台设备通过定制样品台和测量方式、可以实现¦

基础测试;

保护气氛电路测试;

高低温umi接单平台链接 ;

超高频探针台;

光电流分析;

FA失效分析等测量和分析平台。

umi接单平台链接 设备组成¦

探针台¦设备主体;

控制器¦PID温度控制器;

真空维持系统¦真空泵;

液氮罐¦降温系统;

电脑主机¦测试监控;

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